摘要 _W^{,*p  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 {&d )O  
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圖片:1-191014101922T4.png

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建模任務(wù) cOo@UU P  
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圖片:1-191014101951344.png

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入射平面波 kb2M3%6V  
波長(zhǎng) 2.08 nm =%ZR0cWPoI  
光斑直徑： 3mm [[gfR'79{  
沿x方向線偏振 SvN2}]Kh  
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如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ !(>yB;u  
如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ yi@mf$A|  
TU}./b@F  
概覽 H!vX#  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 Q3|I.I e  
•接下來(lái)，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 p4M7BK:nf  
Fb&WwGY,P  

圖片:1-19101410202X92.png

   =VOl *  
光線追跡模擬 sad[(|  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 jO6yZt  
•點(diǎn)擊Go！ ZKco  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 ->Bx>Y  
ruK,Z,3Q  

圖片:1-1910141020535H.png

TATH,Sz:x  
   &p6^   
光線追跡模擬 fw+ VR.#2H  
•然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 71inHg  
•單擊Go！ EGIwqci:  
•結(jié)果，獲得點(diǎn)圖（2D光線追跡結(jié)果）。 XX|wle1Kg  
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圖片:1-19101410211R47.png

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