如何將光聚焦到一個越來越小的光斑上,是
光學領域中一直存在的問題,特別是最近,已發(fā)展出各種旨在深聚焦光的方法。研究高數(shù)值孔徑條件下的光聚焦通常需要全矢量電磁
仿真技術。我們使用VirtualLab Fusion軟件演示了不同偏振態(tài)(如徑向)和孔徑形狀(如環(huán)形)對聚焦區(qū)域電磁場的影響,這種分析既可以用理想
透鏡,也可以用具有明確
結(jié)構(gòu)和
材料信息的真實透鏡進行。
JJ,Fh
. mT5d[lz 用消球差透鏡對各種偏振光束進行深聚焦 NaG1j+LN
d7^:z%Eb| VirtualLab Fusion中的消球差透鏡
模型,為分析具有不同形狀孔徑的各種偏振矢量場的聚焦效果,提供了一種簡便的方法。
G-Z_pGer^ A2Rr*e 分析高NA物鏡聚焦
)qD%5} t wlC_rRj~ 高NA物鏡廣泛應用于光刻、顯微等領域。在對這種聚焦
系統(tǒng)的仿真中,考慮光的矢量特性是非常重要的。
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