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摘要 ]xRM&=)< eg(6^:z?f QPx_- gQ'zW 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 ,z;cbsV-{ :S<f?*
}: 建模任務(wù) 8u6:=fxb vk77B(u H*ow\
Ct "D63I|O) 由于組件傾斜引起的干涉條紋 ]s'Q_wh_-v o]yl;I ok!L.ac *5%d XixN 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 :~2vJzp@? gp>3I!bo[K 7
n8"/0kc: b\yXbyjZ3.
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