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摘要 k1 !@^A
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 zE_i*c"` Ih"XV 干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 "
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vuYSVI2=H 建模任務(wù) eow'K
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o>g 由于組件傾斜引起的干涉條紋 y~\oTJb
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 3p'I5, } 5^x1cUB] 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 1 .6:# 1Yn
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