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摘要 }yn%_KQ0 7Ok-T10 GM9[ 0+u; !vRN'/(Vyu 干涉測量法是一項(xiàng)用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個(gè)典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
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