摘要 WLP A51R  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 o*_[3{FU  
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仿真干涉條紋 Op" \i   
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走進(jìn)VirtualLab Fusion xlp^XT6#  
8Focs p2  

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VirtualLab Fusion中的工作流程 Uq<c+4)5  
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•設(shè)置輸入場 p(8
H[L4Y  
−基本光源模型[教程視頻] f>s3Q\+  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 $ii/Q:w T"  
•定義元件的位置和方向 mQ;b'0&  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] $iUK, ?  
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 !>TVDN>  
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] Dkayk  
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 [M