摘要 xP3v65Q1  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 Do3g^RD#  
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建模任務 xw)$).yc  
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仿真干涉條紋 ;Tn$c70  
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走進VirtualLab Fusion sn4wd:b7%  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 sO5~!W>Z  
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•設置輸入場 KKPQ[3g  
−基本光源模型[教程視頻] *kliI]BF]  
•使用導入的數(shù)據自定義表面輪廓 w;LIP!T#  
•定義元件的位置和方向 7kQZ$sLc  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] x9,X0JO  
•正確設置通道以進行非序列追跡 $rb #k{  
−非序列追跡的通道設置[用例] jO|D