摘要 g.sV$.T2K  

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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 SG o:FG  
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建模任務(wù) QKkr~?sTO  
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仿真干涉條紋 %H~gN9Vn#@  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion ]<?)(xz  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ^<Tp-,J$EN  
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•設(shè)置輸入場(chǎng) Z|GkM5QH:  
−基本光源模型[教程視頻] j7 3@Yi%  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 P&^7wud-sb  
•定義元件的位置和方向 E.bbIV6mQ  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] (`