1.
摘要 _\<TjGtG Ap~6Vu 白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個(gè)氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等
光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。
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>>c%I c Pv|sPIIB7 2. 建模任務(wù)
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