1.
摘要 Hs-.83V \ +-hn 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
[piF MxZP jsi#l ^'53]b: +\[![r^P 2. 建模任務
1S]gD&V ;@YF}%!+W q
'{<c3& ],}afa!A 3. 干涉條紋的變化
C\^<v& 4[CBW YEPG[W<kg mc=!X 4. 走進VirtualLab Fusion
2T(,H.O y_4krY|Zx ji)4WG/1 ;n7|.O]* 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
q|$>H6H4b !0csNg! uyRA`<&w ZR-s{2sl 6. VirtualLab Fusion 技術(shù)
:n>ccZeMv rE{Xo:Cf