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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-05-14
    摘要 [>r0 (x&.  
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    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應。 "g