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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 05-16
    摘要 ~5LlIpf36|  
    @%Y$@Qb{  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應。 j_L1KB*  
    0\XG;KA  
    +Y;/10p  
     d7 |3A  
    建模任務 eT 8(O36%  
    ~nO]R   
     #+dF3]X(&  
    t* eZe`|  
    入射平面波 P X/{  
    波長 2.08 nm 0 _ 4p>v:  
    光斑直徑： 3mm V*]cF=W[A  
    沿x方向線偏振 anLSD/'4W  
    i2$7nSQ9  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ $&D$Uc`U>  
    如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布？ +pDZ,c,  
    nO-1^HUl  
    概覽 '?7?"v  
    •樣品系統(tǒng)預設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 <_XyHb-  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 ig G8L  
     EVs.'Xg<  
       {[B^~Y>Lr  
    光線追跡模擬 .A 12Co  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 =)tU]kp  
    •點擊Go！ g Mhn\  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 G.Z4h/1<  
    ^\|Hz\"*  
     Y\#+-E  
       $'m&RzZ  
    光線追跡模擬 |Uf[x[  
    •然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 x-W6W  
    •單擊Go！ J*4byu|  
    •結(jié)果，獲得點圖（2D光線追跡結(jié)果）。 W>jgsR79M  
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