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ouyuu:和離子源能量強(qiáng)度有關(guān),哪怕同一個離子源,新柵網(wǎng)和舊柵網(wǎng)的能量差距也有50%以上。前處理的目的主要是 z6|kEc"{ 1,用氧離子氧化表面的臟污(臟污的主要成分是碳、氮、氫、氧,氧化后都變成氣體揮發(fā)了) 2I7|hZ, 2,用重離子把表面打出凹凸不平的效果,增加表面的結(jié)合力。 H(Y