摘要 ,;O+2TX  
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對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 wB?;
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建模任務(wù) G7M:LcX  
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1階的參數(shù)優(yōu)化 D/9&pRsO  
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結(jié)果-容差分析 "DjD"?/b  
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在VirtualLab Fusion中查看 BQ)zm  
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VirtualLab Fusion的工作流程 QApil  
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•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) W.HM!HQp  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] m.&z:`x[  
- 傾斜光柵的高級配置[用例] n*9)Y~  
•分析光柵衍射效率 Ih{(d O;  
- 光柵級次分析器[用例] bfQ+}|;  
•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) `(q+@