摘要
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}@'Zt6+tS 對(duì)于如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜
光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的
衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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