據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，深圳中科飛測科技股份有限公司“一種光學(xué)設(shè)備及其對準(zhǔn)方法和檢測方法”專利公布，申請公布號：CN113514477A，申請日2020-04-10。

專利摘要顯示，一種光學(xué)設(shè)備的調(diào)節(jié)方法，光學(xué)設(shè)備包括對準(zhǔn)參考物和待對準(zhǔn)探測裝置，待對準(zhǔn)探測裝置包括待對準(zhǔn)探測器和鏡頭，待對準(zhǔn)探測器用于在待測物表面形成待對準(zhǔn)視場區(qū)；該調(diào)節(jié)方法包括：提供參考探測裝置，用于在待測物表面形成參考視場區(qū)；使對準(zhǔn)參考物處于參考視場區(qū)中；根據(jù)對準(zhǔn)參考物在參考視場區(qū)中的位置，對參考探測裝置進行第一調(diào)整處理，使對準(zhǔn)參考物處于參考視場區(qū)中的預(yù)定區(qū)域；第一調(diào)整處理之后，將參考探測裝置替換為待對準(zhǔn)探測裝置，待對準(zhǔn)探測裝置在待測物表面形成的待對準(zhǔn)視場區(qū)處于對準(zhǔn)參考物的預(yù)定位置。該調(diào)節(jié)方法具有速度快和精度高的優(yōu)點。

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