這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維
光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
[*{G,=tF`Y xoT|fgb 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)
波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度
S偏振光照明的場(chǎng)矢量
IRq@~vdt) 
P偏振光照明的場(chǎng)矢量 G/y@`A)
/kK%}L_D 后處理傅里葉變換計(jì)算透射
衍射級(jí)次的振幅。
IN{ 1itE q>n0'`q 參數(shù)掃描
rhr(uC p/ q-k~L\Ys Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對(duì)入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級(jí)次的強(qiáng)度：
f\/'Fy0 \os iY ^ 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個(gè)固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系
4fuK pLA [UW%(N
