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摘要 CWI(Q`((> S)$ES6]9/ 分析特定衍射級(jí)的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 ^O[q C X
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 ;Cyt2]F S] {K^Q), 光柵規(guī)格 l!q i:H<=1 eB!0: nHN =`vUWONn
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 8<? 60sj
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 &&(sZG w
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 31YzTbl[H
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 d:=5y) T92k"fBY 光柵級(jí)次分析器設(shè)置 KH2a 2 i u&'v 't^OIil
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級(jí)次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。
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•此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。 ](- :l6
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。
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 01#a ep,kImT 通用設(shè)置 jcOxtDTSW LYavth`@h (? YTQ8QR
•在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，您可以選擇分析透射或反射。 sRb)*p'
•此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 0P\)L `cG
−級(jí)次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強(qiáng)在級(jí)次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級(jí)次收集是為傳輸和反射單獨(dú)生成的。有關(guān)級(jí)次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 nY}Ep\g
−單級(jí)次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級(jí)次”選項(xiàng)卡。（見下頁） :)?w 2'O
−總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個(gè)光柵級(jí)次，而是作為總值）將顯示在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果。 0 j4bu}@
−極坐標(biāo)圖（角度）：生成另一個(gè)文檔，該文檔提供不同顯示光柵級(jí)次的可視化，其中顯示的角度對應(yīng)于級(jí)次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個(gè)平面。有關(guān)極坐標(biāo)圖文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 >,A:zbs&
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 FrB}2 >K;p+( <6 單級(jí)次設(shè)置 RP z0WP O\B_=KWDO •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中選擇“單級(jí)次輸出”選項(xiàng)時(shí)，激活“單級(jí)次”選項(xiàng)。您可以在其中選擇應(yīng)記錄的單級(jí)次信息。 XrtB&h|C •單級(jí)次輸出控制是否提供有關(guān)單個(gè)級(jí)次（衍射角、效率、瑞利系數(shù)…）的信息（取決于模擬的運(yùn)行方式，在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果）。 N
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