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摘要 6mZ py t ADP[KZO$ 4 分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 ;rJ#>7K
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 '&/Y}] C 1HNcfa7 光柵規(guī)格 ~O;?;@ !H^R_ GC yaj1nq! *"
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 w4y ???90)
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 Z _<Wr7 D
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 .:['&; k
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 K G5B6Om5' IOUzj{G# 光柵級次分析器設(shè)置 nNM)rW '\7&I
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