正如我們在上周的簡報中所看到的,各種形狀的
光柵結(jié)構(gòu)往往是基于光導(dǎo)的顯示
系統(tǒng)的重要組成部分,用于增強和混合現(xiàn)實應(yīng)用。光柵的復(fù)雜性和它們在這些設(shè)置中通常扮演的多重角色要求對它們的行為進行徹底的分析,而小的特征尺寸意味著需要一個嚴(yán)格的方法來準(zhǔn)確地進行上述分析?焖俚
物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件
VirtualLab Fusion為您提供了多種工具,使這項任務(wù)變得更容易和更方便。
W)rE_tw,| HA}pr6Z 這一次,我們要著重展示光柵級次分析器,它使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法/嚴(yán)格耦合波分析(FMM/RCWA)進行光柵表征,并說明它在光導(dǎo)輸入耦合的傾斜光柵案例中的應(yīng)用。
q7id?F}3& 用于光導(dǎo)耦合的傾斜光柵的分析
rSTc4m1R oS'M w3j51v` 0' 從文獻中選擇了不同的傾斜光柵幾何形狀,其斜角、填充系數(shù)和調(diào)制深度各不相同,用傅里葉模態(tài)法(FMM)計算
衍射效率。
*ml&}9 光柵級次分析儀
lNV%R( 6 isz =}@m$g 在VirtualLab Fusion中,光柵級次分析器可用于方便的光柵衍射分析,其結(jié)果以各種方式呈現(xiàn)。