-
UID：317649
-
- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-02-21
- 在線時間1734小時
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
摘要 UU;U,q
iI
4X M>`a 在傳統(tǒng)的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態(tài)方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進(jìn)行建模�？梢詸z測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現(xiàn)柱狀圖案，而在次要像平面中再現(xiàn)孔圖案。 5k]xi)%
C A 8N  z c4l{+3 qbZY[Q+F 建模任務(wù) Mb
+ T x
6\  fx#Krr @ +61h!/<W structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >m Xq= 9L4 C#3K.0a 系統(tǒng)建模塊 YuV g/ '= }u9wD08x  Qi? xx') $ ytlj1. 特定位置的Talbot圖案 pGHn L4 )
 g71|t7Q |on$ )vm 特定位置的Talbot圖案 7 8n`VmH~L 2nsW )bd  )&$p?kF 不同位置的Talbot圖案 vf-cx\y7 ;G\RGU~
 k}tT l 2 # qP W J 不同位置的Talbot圖案 O\=c&n~` PEIf)**0N
 ckCb) r_ v[t *CpGd 沿 Z 軸的強(qiáng)度 x= jS=3$8
gPYF2m
 ?V >{3 +GDT@,/ VirtualLab Fusion技術(shù) Oqy&V&-C
FXd><# U
 P S [ifC
|
