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- 注冊時間2020-06-19
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1. 摘要 iGlg@ Bi:%}8STH 高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。 1Tm,#o 9kZ[Z
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td@I ;d2 rom`%qp^ 2. 建模任務
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