一．概述
!=)b2}e/> 隨著光刻分辨率的不斷提高，
光學(xué)光刻機中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。
Qr.SPNUFK 1ze\ U> 與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。
%VH{bpS|i: L$zB^lSM 全折射型投影物鏡是指只含有
透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。
&"gQrBa uD=FTx 二．SYNOPSYS自由曲面設(shè)計功能
n9H4~[JiC 受限于EUV（極紫外光）使用的波長為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒有光學(xué)材料可以透過，因此為了使用更短的波長，此類光刻物鏡只能采用完全反射式進行設(shè)計。
a>H8, a U0m 5Rc SYNOPSYS的自由曲面設(shè)計功能可以非常方便快捷地設(shè)計自由曲面反射式
光學(xué)系統(tǒng)。
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k 只需要輸入每個反射鏡的初始位置、形狀，以及系統(tǒng)的物方
參數(shù)和像方要求，此功能會自動生成對應(yīng)的
優(yōu)化文件和初始結(jié)構(gòu)。
j1~'[ ?9Hs,J 宏文件和
鏡頭文件可以評論區(qū)留言領(lǐng)取
>OxSrc@A w}rsboU Pd8zdzf{ 三．反射式光刻物鏡優(yōu)化結(jié)果
<rn26Gfr 得到優(yōu)化的宏文件可以評論區(qū)留言領(lǐng)取
