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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 07-24
    摘要 *oby(D"p  
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    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 ,Wv@D"4?  
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    建模任務(wù) Uuxx^>"h\  
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    概述 #r=Jc8J_  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 *1H8 &  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 @ 0'j;")XV  
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    光線追跡仿真 kB)u@`</mV  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 a2!U9->!  
    •單擊go！ K2XRKoG  
    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 NJNS8\4  
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    ^xyU *A}D  
    光線追跡仿真 9{GEq@`7  
    4'+g/i1S F  
    •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 7C&J88|\  
    •單擊go！ jIL+^{K<  
    •結(jié)果得到點圖（二維光線追跡結(jié)果）。 O .ESI  
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     .E:3I!dH7  
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    場追跡仿真 _qxBjB4t"a  
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    •切換到場追跡，然后選擇“第二代場追跡”作為模擬引擎。 aw923wEi  
    •單擊go！ ^ Fnag]qQ  
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    @!Z1*a.  
     $} @gR] Z  
    場追跡仿真（相機探測器） 3'7]