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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 2dbn~j0 Dg}EI^ d 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 @_ UI;*V
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# 00?]6`z 建模任務(wù) nmyDGuzk )/2TU]//  &78lep 概述 /2tP d =hI;5KF •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 $)6M@S •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 4sC)hAx&f :H:+XIgoR
 >q ,Z*s>? &(|Ot`el]v 光線追跡仿真 h&~9?B ~b4kV)[ q •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 ^a1k"|E?f •單擊go！ ]a[2QQ+g •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 53^3. .E| 5FsfJpw
 J]Rh+ @r. X `F>kp1 光線追跡仿真 t{`krs`` C@pn4[jTl •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 b%d,
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