[討論]離子源充氧與充氬有何分別？ [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-04-15

離子源充氧與充氬有何分別？

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離線j123456789

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2007-04-15

離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強(qiáng)的活性，作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會(huì)降低離子源的壽命�。〕錃鍍H能提高膜層的密度，同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對(duì)長(zhǎng)！

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flyinlove79

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熱心助人，鼓勵(lì)！

2013-02-02

離線flyinlove79

論壇版主

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2007-04-16

樓上的說(shuō)的好

離線jiayuch

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2007-04-22

如果鍍得是氟化鎂就用氬氣嗎

離線yufe16

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2008-06-17

氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎？

離線liwenjuan

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2008-06-18

這個(gè)問(wèn)題也是我一直思考的，好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點(diǎn)，壽命問(wèn)題真的是要考慮的，廠家可能也是拿著這個(gè)結(jié)果來(lái)對(duì)我們說(shuō)，而不會(huì)提到這個(gè)壽命的情況。
我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會(huì)有損傷。

不同的材料肯定是不同，這個(gè)除了廠家會(huì)給一些參考，也要自己摸索了

離線syw1984

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2008-06-28

好像透過(guò)曲線有區(qū)別的

離線yufe16

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2008-06-29

使用離子源的話，對(duì)真空室溫度有什么要求嗎》

離線yufe16

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2008-06-29

使用離子源對(duì)真空室溫度有什么要求嗎？

離線拉比熊

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2013-01-13

使用離子源對(duì)溫度沒(méi)有影響