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    [技術(shù)]GLAD:光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 08-12
    概述 V:h-K`~ /  
    系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示:
    Xtqjx@ye  
    eTI<WFRc_  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 (~/VP3.S  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 o5