白光干涉儀在測(cè)量材料表面三維形貌方面的應(yīng)用非常廣泛，它通過非接觸式測(cè)量方法，能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù)。以下是白光干涉儀在測(cè)量三維形貌時(shí)的一些關(guān)鍵應(yīng)用和特點(diǎn)： [8SW0wsk  
1. 高精度測(cè)量：白光干涉儀能夠提供亞納米級(jí)的測(cè)量精度，非常適合于納米或亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域的檢測(cè)需求。它在同等放大倍率下的測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡 。 ix]3t^