白光干涉儀在測量材料表面三維形貌方面的應(yīng)用非常廣泛，它通過非接觸式測量方法，能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù)。以下是白光干涉儀在測量三維形貌時的一些關(guān)鍵應(yīng)用和特點(diǎn)： _BM4>r?\  
1. 高精度測量：白光干涉儀能夠提供亞納米級的測量精度，非常適合于納米或亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域的檢測需求。它在同等放大倍率下的測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡 。 ~x:DXEV,  
2. 非接觸式測量：作為一種非接觸式測量技術(shù)，白光干涉儀不會對樣品表面造成損傷，這對于易損或敏感材料的測量尤為重要。 !CTxVLl"F  
3. 快速測量：白光干涉儀的測量速度快，可以快速獲取表面形貌數(shù)據(jù)，適合于快速檢測和質(zhì)量控制。 p#P~Q/;  
4. 廣泛的測量范圍：白光干涉儀能夠測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，適用于不同材料和不同表面特性的測量。 J^#:qk  
5. 三維形貌重建：通過干涉條紋的變化，白光干涉儀能夠重建物體表面的三維形貌，提供詳細(xì)的表面特征信息。 v