摘要
^oT!%"\ M^3pJ=;5 j@4AY}[tX iw)^;8q 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來(lái)源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
C=uYX" JOvRUDZ 設(shè)計(jì)任務(wù)
yo@S.7[/ d]<S/D'i l\%LT{$e 5y%-K=d 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
u[;,~eB%w WjVj@oC 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
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gbB)u-Pc vk]vtjf&% 'g7eN@Wh.z 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
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`Dp ]H_|E 3sy|pa QFYO_$1Y) 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
~.H*" %=GF 4IH,:w=ofN 1QPS=;|) 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化
P/hV{@x d?Y|w3lB nnol)|C{5Y 4T<4Rb[ 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
;"N4Yflz 4>I >y@^ $VRVMY [q OqcM3# VirtualLab Fusion一瞥
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MmT' -fILXu pi|P&?yw g{d(4=FM VirtualLab Fusion中的工作流程
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