摘要
3~"G(UP NymS8hxR *rO#UE2 .*u, !1u 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來說需要減少表面反射。控制表面反射的一種非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
OO@ (lt }/ 6Q3B 設(shè)計(jì)任務(wù)
5Sd+Cc Egv (n@1 7Op6>i
I_mnXd;n 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
ylF%6!V}4V G#ov2 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
.__X-+^ Z(p kj ^[}^+ $m`?x5rL8 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
#%U5,[<a8 `7qZ6Z3z@ x^kV;^ I WjxOM\?# 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
jnvi_Rodm =Mb!&qq nwh7DUi [*U6L<JI 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化
Ml1sE,BT g$s"x r`: * 8n0 ^9zL[R 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
)CQ'kHT<e S6gg(nNe H:
Rd4dl,
=$6z1] ;3 VirtualLab Fusion一瞥
:R+}[|FV Fyy)665x/ )(`I1"1 h.@5vhD VirtualLab Fusion中的工作流程
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