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可變量功能(Variable)和連接功能(Link)是可以方便用戶對于結(jié)構(gòu)中存在變量,以及同時存在多個變量時的仿真,可變量功能可以一次計算多種仿真條件,從而用戶可以很容易地對各種條件下的數(shù)據(jù)進行比較和分析,而連接功能可以同時改變兩個或兩個以上的條件,在某些數(shù)據(jù)復(fù)雜的情況下可以簡化數(shù)據(jù),降低運算量。其含義解釋可參考下圖 H$UcF1k< nZYBE030 本案例在一個簡化的IPS結(jié)構(gòu)來使用變量和連接的功能 86F1.ve I9ep`X6Y 1. 建模任務(wù) ePo}y])2 1.1堆棧結(jié)構(gòu) n/mG|)Xt 1.2本案例中將電極寬度作為可變量,并將變量使用連接功能連接起來,從而查看幾個電極寬度同時變化時對應(yīng)的參數(shù) @|YH|/RF X45%e! 2. 建模過程 aAUvlb 2.1在堆棧結(jié)構(gòu)中指定需要作為可變量的參數(shù),如下圖。 ,Ko!$29[ QhJiB%M 分別選中三個“Mask” 將“Mask”中的寬度選為“Variable” >pe.oxY 2.2對掩膜寬度設(shè)置變量,并“l(fā)ink”起來 tK\~A,= 上圖中“Link”符號一樣的參數(shù)都會被連接起來,相互連接的參數(shù)需要變量個數(shù)一致,如“Mask 1”的寬度設(shè)置了三個變量,則其余連接的掩膜寬度也需要設(shè)置三個變量 [ v*ju!
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y 3. 結(jié)果查看 o&$A]ph8X 3.1 結(jié)構(gòu)與透過率?梢栽谟覀(cè)直接選擇不同的變量,來查看不同變量下的狀態(tài),如下圖 r*Ca}Z F7#JLE= 3.2 不同電極寬度下的圖表 #QMz<P/Gl6
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