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摘要 ^DJ U99
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 bsDUFXH] XA k l,Y 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 9a,CiH% @
ywBo9|%T 建模任務(wù) ZmF32 Ir
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 fR{7780WZ >@W#@W*I@ 由于組件傾斜引起的干涉條紋 qN(; l&Q
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