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摘要 AM} brO IMnP[WA! 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 |3K)$.6~ !3oKmL5
#a| L3zR5v Gg\G'QU 建模任務(wù) 2X-l{n;> Px M!U!t M}DH5H"s $jI>[% 傾斜平面下的觀測條紋 _,6f#t D\^WXY5e%y
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dSIH9D 圓柱面下的觀測條紋 K?#]("De6 XE}H
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