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摘要 [~G1Rz\h 5'V-Ly)*% 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。 8GjETq%} 9x8Vsd
C(z'oi:f Bc-/s(/Eq 建模任務(wù) =1VZcLNt M)Z!W3 3` D[' .N#KW 傾斜平面下的觀測條紋 t.
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WIAukM8~ nZ#u#V 圓柱面下的觀測條紋 ?|
6sTu! GZn=Hgv8 M"qS#*{ D,lY_6= 球面下的觀測條紋 d%nX;w,
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