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    [技術(shù)]用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 昨天 07:58
    摘要 &:-GI)[o  
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    斐索干涉是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 DZ,<Jmg&e*  
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    傾斜平面下的觀測(cè)條紋 $ V3n~.=  
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    圓柱面下的觀測(cè)條紋 |C^ c0  
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    球面下的觀測(cè)條紋 Cm9