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摘要 &:-GI)[o xNn>+J 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 DZ,<Jmg&e* mSy|&(l vs*>onCf
Ca$y819E2 建模任務(wù) F_K hjw4Xzju gfV]^v \A` gK\/h 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 $ V3n~.= y|$vtD%c dvC0 <*V H^ESAs6 圓柱面下的觀測(cè)條紋 |C^
c0 er#8D6* KsZ@kTs 7sCR!0 球面下的觀測(cè)條紋 Cm9
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