原理相關(guān) Xd{"+'29  
1、白光干涉儀的基本原理是什么：白光干涉儀的基本原理是利用光學(xué)干涉原理。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋，干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。 x! Z|^q  
2、為什么白光干涉儀只有在零光程差附近才能出現(xiàn)清晰條紋：白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會(huì)出現(xiàn)彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會(huì)出現(xiàn)清晰的、對(duì)比度高的干涉條紋。這是因?yàn)椴煌�波長(zhǎng)的光在非零光程差時(shí)，干涉條紋的位置和強(qiáng)度變化復(fù)雜，相互疊加后導(dǎo)致條紋模糊，而在零光程差處，各波長(zhǎng)的光干涉條紋重合，形成清晰的條紋，這一特性使得白光干涉儀在測(cè)量時(shí)能夠通過精確尋找零光程差位置來實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。 ;ML21OjgN  
yfi.<G)S  
儀器構(gòu)造相關(guān) w+[r$+z!k  
1、白光干涉儀主要由哪些部分構(gòu)成：主要由光源及科勒照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)、垂直掃描系統(tǒng)、調(diào)整系統(tǒng)、干涉物鏡等組成。其中，干涉物鏡是核心組件，SuperViewW白光干涉儀不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。 ]G&d`DNV  
2、各部分的作用是什么： @y)fR.!)1$  
（1）光源及科勒照明系統(tǒng)：提供穩(wěn)定的白光源，并使光線均勻照亮被測(cè)物體。 s,lrw~17  
（2）成像系統(tǒng)：將被測(cè)物體的像清晰地成像在CCD相機(jī)的感光面上。 8/]5h%  
（3）圖像采集系統(tǒng)：通常采用CCD相機(jī)，負(fù)責(zé)采集干涉條紋圖像。 Ey 4GyAl  
（4）垂直掃描系統(tǒng)：采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)，精確控制測(cè)量過程中的光程差變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面不同高度位置的掃描。 `a