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摘要 VrIN.x
$@PruY3[ 光柵結構廣泛應用于各種光學應用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等�？焖傥锢砉鈱W軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結構的嚴格分析提供了通用和方便的工具。為此，復雜的一維或二維周期結構可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。 cL9 gaD$;) $Cz2b/O
 / a\i !)bZ.1o 任務說明 ?UsCSJ1V )LGVR 3#  5]&s Xs "rB B&l 簡要介紹衍射效率與偏振理論 coXg]bUKo 某個衍射級次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個特定的級次中。它是由復數(shù)值瑞利系數(shù)計算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個衍射級次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進行嚴格分析的結果。 JwI99I' 如果在TE/TM坐標系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計算衍射效率： B_[efM<R$  | ]G%b[ 其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。 W& hW N9iR 如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應用以下方程： U'=8:&  J _rrc;F 因此，必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標系。默認情況下，光柵坐標系中為 。 v]EMJm6d| (WHg B0{
光柵結構參數(shù) -,y p?< 研究了一種矩形光柵結構。 d*8*9CpO: 為了簡化設置，選擇光柵配置，只允許零階(R_0)反射傳播。 5aaM;45C 根據(jù)上述參數(shù)選擇以下光柵參數(shù)： (.UU4 0:t 光柵周期：250 nm Va )W[I 填充因子：0.5 30v xOkS 光柵高度：200 nm l`"?K D 材料n_1：熔融石英（來自目錄） /?; 'y,(Q 材料n_2：二氧化鈦（來自目錄） v~
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