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摘要 9'vf2 ) "
3]&le[. xaq/L:I< 線柵偏振器，可以使透射光產生線性偏振狀態(tài)，是眾多應用中常見的一種光學元件。由于它們的結構在亞波長范圍內，因此必須對光的傳播進行嚴格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內置的RCWA能夠詳細分析和優(yōu)化，不僅是偏振器，還有抗反射結構和其他類型的光柵。它提供了與偏振有關的反射和/或透射衍射階數(shù)的信息，同時還可以分析效率與波長和/或入射角的關系。 d]?fL&jr xHkx
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