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摘要 6s@!Yn |? F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中，偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion中的掃描光源，通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 `wi+/^);
建模任務(wù) :` SIuu~@ 系統(tǒng)構(gòu)建塊-掃描源 XRPJPwes] 系統(tǒng)構(gòu)建塊-透鏡系統(tǒng)組件 #wyceEa 系統(tǒng)構(gòu)建塊-參數(shù)耦合 1I2n dt 系統(tǒng)構(gòu)建塊-畸變分析儀 +3))G 通用探測器和探測器附加組件 K_M Ed1l 總結(jié)-組件… W? G4>zA 系統(tǒng)查看 %DttkrhL
通過系統(tǒng)：三維可視化，不同F(xiàn)oV模式可以通過顏色編碼來區(qū)分。此外，可以檢查場的軌跡，以便將探測器放置在正確的位置。 L` [iI 性能評估-光斑位置偏差 y;az& T 性能評估-光斑直徑測量 @WazSL;N VirtualLab Fusion技術(shù) b'O/u."O
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