現(xiàn)以砷化鎵(GaAs)激光器為例,介紹注入式同質(zhì)結(jié)激光器的工作原理。 5FsfJpw
1.注入式同質(zhì)結(jié)激光器的振蕩原理。由于半導(dǎo)體材料本身具有特殊晶體結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu),故形成激光的機(jī)理有其特殊性。 x<.(fRv
(1)半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體材料多是晶體結(jié)構(gòu)。當(dāng)大量原子規(guī)則而緊密地結(jié)合成晶體時(shí),晶體中那些價(jià)電子都處在晶體能帶上。價(jià)電子所處的能帶稱價(jià)帶(對(duì)應(yīng)較低能量)。與價(jià)帶最近的高能帶稱導(dǎo)帶,能帶之間的空域稱為禁帶。當(dāng)加外電場(chǎng)時(shí),價(jià)帶中電子躍遷到導(dǎo)帶中去,在導(dǎo)帶中可以自由運(yùn)動(dòng)而起導(dǎo)電作用。同時(shí),價(jià)帶中失掉一個(gè)電子,則相當(dāng)于出現(xiàn)一個(gè)帶正電的空穴,這種空穴在外電場(chǎng)的作用下,也能起導(dǎo)電作用。因此,價(jià)帶中空穴和導(dǎo)帶中的電子都有導(dǎo)電作用,統(tǒng)稱為載流子。 1hc`s+N
(2)摻雜半導(dǎo)體與p-n結(jié)。沒有雜質(zhì)的純凈半導(dǎo)體,稱為本征半導(dǎo)體。如果在本征半導(dǎo)體中摻入雜質(zhì)原子,則在導(dǎo)帶之下和價(jià)帶之上形成了雜質(zhì)能級(jí),分別稱為施主能級(jí)和受主能級(jí)。 *R7bI?ow
有施主能級(jí)的半導(dǎo)體稱為n型半導(dǎo)體;有受主能級(jí)的半導(dǎo)體稱這p型半導(dǎo)體。在常溫下,熱能使n型半導(dǎo)體的大部分施主原子被離化,其中電子被激發(fā)到導(dǎo)帶上,成為自由電子。而p型半導(dǎo)體的大部分受主原子則俘獲了價(jià)帶中的電子,在價(jià)帶中形成空穴。因此,n型半導(dǎo)體主要由導(dǎo)帶中的電子導(dǎo)電;p型半導(dǎo)體主要由價(jià)帶中的空穴導(dǎo)電。 Xc~BHEp
半導(dǎo)體激光器中所用半導(dǎo)體材料,摻雜濃度較大,n型雜質(zhì)原子數(shù)一般為(2-5)×1018cm-1;p型為(1-3)×1019cm-1。 ZzP&Zrm
在一塊半導(dǎo)體材料中,從p型區(qū)到n型區(qū)突然變化的區(qū)域稱為p-n結(jié)。其交界面處將形成一空間電荷區(qū)。n型半導(dǎo)體帶中電子要向p區(qū)擴(kuò)散,而p型半導(dǎo)體價(jià)帶中的空穴要向n區(qū)擴(kuò)散。這樣一來(lái),結(jié)構(gòu)附近的n型區(qū)由于是施主而帶正電,結(jié)區(qū)附近的p型區(qū)由于是受主而帶負(fù)電。在交界面處形成一個(gè)由n區(qū)指向p區(qū)的電場(chǎng),稱為自建電場(chǎng)。此電場(chǎng)會(huì)阻止電子和空穴的繼續(xù)擴(kuò)散。 yDj'')LOQg
(3)p-n結(jié)電注入激發(fā)機(jī)理。若在形成了p-n結(jié)的半導(dǎo)體材料上加上正向偏壓,p區(qū)接正極,n區(qū)接負(fù)極。顯然,正向電壓的電場(chǎng)與p-n結(jié)的自建電場(chǎng)方向相反,它削弱了自建電場(chǎng)對(duì)晶體中電子擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)的阻礙作用,使n區(qū)中的自由電子在正向電壓的作用下,又源源不斷地通過(guò)p-n結(jié)向p區(qū)擴(kuò)散,在結(jié)區(qū)內(nèi)同時(shí)存在著大量導(dǎo)帶中的電子和價(jià)帶中的空穴時(shí),它們將在注入?yún)^(qū)產(chǎn)生復(fù)合,當(dāng)導(dǎo)帶中的電子躍遷到價(jià)帶時(shí),多余的能量就以光的形式發(fā)射出來(lái)。這就是半導(dǎo)體場(chǎng)致發(fā)光的機(jī)理,這種自發(fā)復(fù)合的發(fā)光稱為自發(fā)輻射。 XdnpL$0
要使p-n結(jié)產(chǎn)生激光,必須在結(jié)構(gòu)內(nèi)形成粒子反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),需使用重?fù)诫s的半導(dǎo)體材料,要求注入p-n結(jié)的電流足夠大(如30000A/cm2)。這樣在p-n結(jié)的局部區(qū)域內(nèi),就能形成導(dǎo)帶中的電子多于價(jià)帶中空穴數(shù)的反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),從而產(chǎn)生受激復(fù)合輻射而發(fā)出激光。 TFzk5
2.半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)。其外形及大小與小功率半導(dǎo)體三極管差不多,僅在外殼上多一個(gè)激光輸出窗口。夾著結(jié)區(qū)的p區(qū)與n區(qū)做成層狀,結(jié)區(qū)厚為幾十微米,面積約小于1mm2。 `f<w+u
半導(dǎo)體激光器的光學(xué)諧振腔是利用與p-n結(jié)平面相垂直的自然解理面(110面)構(gòu)成,它有35的反射率,已足以引起激光振蕩。若需增加反射率可在晶面上鍍一層二氧化硅,再鍍一層金屬銀膜,可獲得95%以上的反射率。 9Q7342
一旦半導(dǎo)體激光器上加上正向偏壓時(shí),在結(jié)區(qū)就發(fā)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)而進(jìn)行復(fù)合。