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    [討論]磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置 [復(fù)制鏈接]

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    離線sorry6741
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-05-27
    磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置，因為我廠的靶材使用時，靶材利用率很差，靠近裡面打的厚、外圍就打的薄，請問到底磁鐵在配置時該如何做最佳配置，是否要研究磁力線分佈
     
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    離線荷塘月色
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-07-02
    此情況是屬在非平衡磁場的基礎(chǔ)上嚴(yán)重磁力分布不均。而且濺射靶材不宜過厚。
    離線msgt
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-07-11
    不是很明白
    離線sorry6741
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-07-11
    濺射靶材為何不宜過厚啊
    離線韓成錫
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2007-07-12
    非平衡磁控濺射的磁場本身就是不對稱分布，不管如何調(diào)整總會有一個有效濺射面積問題。由于磁場磁力線的分布，受到轟擊最充分的位置是在距離中心和邊緣均有一定距離的環(huán)形面上；把磁力線調(diào)整到能夠覆蓋靶面更大范圍可以提高一些靶材利用率，但效果有限。 Z[A|SyZp  
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    靶材厚度不宜做的太厚。因為磁場分布的原因，濺射一段時間后靶面會形成一個環(huán)形凹槽，靶做的越厚利用率就越低（除去環(huán)形部分被濺射掉，中心部分和邊緣部分剩下的越多，浪費越嚴(yán)重）
    離線fineday36
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2009-05-06
    我也遇到此類問題,調(diào)整磁鐵相對于靶面的距離,來調(diào)整磁力線,可以改良這種情況
    離線liulianrui
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2009-06-02
    最好用專業(yè)的軟件來設(shè)計磁場分布，以確定磁鋼的大小、強(qiáng)度、位置和靶材的尺寸。我公司專業(yè)制造磁控濺射靶，材料利用率高，濺射穩(wěn)定。有問題可以直接聯(lián)系我，我們相互切磋dzmr.liu@126.com
    離線bislarge
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2009-06-03
    我也知道怎么解決這個問題
    離線bislarge
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2009-06-03
    可聯(lián)系，，czbvacuum@163.com
    離線玻璃人
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2009-09-08
    學(xué)習(xí)了�。�！