1(-)$m8} 超精密加工經(jīng)過(guò)數(shù)十年的努力,日趨成熟,不論是超精密機(jī)床、金剛石工具,還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密制造技術(shù)系統(tǒng),為推動(dòng)機(jī)械制造向更高層次發(fā)展奠定了基礎(chǔ),現(xiàn)在正在向納米級(jí)精度或毫微米精度邁進(jìn),其前景十分令人鼓舞。但是從另一個(gè)角度來(lái)分析,隨著科技的發(fā)展,對(duì)它的要求越來(lái)越高,而現(xiàn)實(shí)的情況又受到技術(shù)水平的制約,依然存在許多困難。
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