為了實(shí)現(xiàn)空間任意軌跡精細(xì)加工的智能化，針對(duì)金屬板材，設(shè)計(jì)了防水型、非接觸式電渦流傳感器，并將其應(yīng)用于水射流切割機(jī)器人系統(tǒng)。從研究電渦流傳感器的數(shù)學(xué)模型出發(fā)，分析線圈參數(shù)對(duì)傳感器性能的影響,線圈截面形狀采用倒梯形，并提出行之有效的最優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，提高了傳感器的線性測(cè)量范圍。經(jīng)實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程的驗(yàn)證,系統(tǒng)切割誤差小、響應(yīng)速度快、定位精度和生產(chǎn)效率高、系統(tǒng)工作穩(wěn)定。