為了實現(xiàn)空間任意軌跡精細加工的智能化,針對金屬板材,設(shè)計了防水型、非接觸式電渦流傳感器,并將其應(yīng)用于水射流切割機器人系統(tǒng)。從研究電渦流傳感器的數(shù)學(xué)模型出發(fā),分析線圈參數(shù)對傳感器性能的影響,線圈截面形狀采用倒梯形,并提出行之有效的最優(yōu)化設(shè)計方法,提高了傳感器的線性測量范圍。經(jīng)實際生產(chǎn)過程的驗證,系統(tǒng)切割誤差小、響應(yīng)速度快、定位精度和生產(chǎn)效率高、系統(tǒng)工作穩(wěn)定。