為了實現(xiàn)空間任意軌跡精細加工的智能化，針對金屬板材，設計了防水型、非接觸式電渦流傳感器，并將其應用于水射流切割機器人系統(tǒng)。從研究電渦流傳感器的數學模型出發(fā)，分析線圈參數對傳感器性能的影響,線圈截面形狀采用倒梯形，并提出行之有效的最優(yōu)化設計方法，提高了傳感器的線性測量范圍。經實際生產過程的驗證,系統(tǒng)切割誤差小、響應速度快、定位精度和生產效率高、系統(tǒng)工作穩(wěn)定。