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    [求助]橢偏儀和臺階儀測薄膜厚度的問題 [復制鏈接]

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    離線小英子
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-12-10
    請教一下：我用橢偏儀和臺階儀分別測了一下薄膜的厚度，結(jié)果至少差了有200nm，請問一下哪一個測量的更準確呢！謝謝大家！
     
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    離線ccc502
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-12-10
    后者更精確

    樓主留言：

    為什么呢？
    離線oneday1979
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-01-02
    我也想知道
    離線whuai
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-02-28
    請分享
    離線timberwolf
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-03-25
    如果操作無誤，我相信臺階儀
    離線wuya02109
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2009-08-07
    如果是測厚度這一項的話，還是臺階儀更準些。
    離線hp1965
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2009-10-03
    薄膜的總厚度是多少？哪一個測量的更準確與你關(guān)心的是光學厚度或幾何厚度有關(guān)！
    離線myjoy88
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2010-02-02
    當然是橢偏儀更準，因為測試的結(jié)果可以和理論值比較 &nKb<o  
    離線uantel
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2011-04-06
    準確的講，是后者準確，臺階儀是接觸式測量
    離線yurongjun228
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2011-04-06
    能提供下載資料嗎