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    [求助]請教鍍膜中碰到的問題 [復制鏈接]

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    離線shuangzixing
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-12-19
    前幾天在鍍可見區(qū)增透膜時,在鍍的時候沒發(fā)現(xiàn)異常情況可出罩時發(fā)現(xiàn)在基片上有很小的亮點.不是膜點.不能擦掉.做了3罩每罩都有一快.請老師判斷.材料是氧化鋯.氧化硅.氟化鎂
     
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    離線flyinlove79
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-12-19
    如果基底確實處理干凈了 S"lcePN  
    就看預熔材料的時候，擋板有沒有擋住 i22R3&C  
    氟化鎂除氣有沒有徹底，這個材料容易上點子 mCg