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    [求助]請(qǐng)教鍍膜中碰到的問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線shuangzixing
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-12-19
    前幾天在鍍可見區(qū)增透膜時(shí),在鍍的時(shí)候沒發(fā)現(xiàn)異常情況可出罩時(shí)發(fā)現(xiàn)在基片上有很小的亮點(diǎn).不是膜點(diǎn).不能擦掉.做了3罩每罩都有一快.請(qǐng)老師判斷.材料是氧化鋯.氧化硅.氟化鎂
     
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    離線flyinlove79
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-12-19
    如果基底確實(shí)處理干凈了 5=?P 6I_$G  
    就看預(yù)熔材料的時(shí)候，擋板有沒有擋住 }+!"mJx@  
    氟化鎂除氣有沒有徹底，這個(gè)材料容易上點(diǎn)子 zQ=b|p]|W  
    材料在蒸發(fā)的時(shí)候有沒有速率過快
    離線shuangzixing
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2005-12-20
    老師：這幾點(diǎn)我都注意了。象這種膜系我們經(jīng)常做，就這幾罩有這現(xiàn)象。謝謝
    離線birdy
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2005-12-20
    如果真空室臟了的話，也回出現(xiàn)這種情況的
    離線flyinlove79
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2005-12-21
    如果每罩只有幾塊的話，估計(jì)不是玻璃沒有處理好，就是材料發(fā)生嘣濺，特別是MgF2材料，預(yù)熔不好的話就容易發(fā)生嘣濺。
    離線shuangzixing
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2005-12-22
    謝謝老師提醒,這幾天我把真空室打掃了.沒發(fā)現(xiàn)這情況了
    離線ljq2007
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2010-05-13
    mgf2膜料噴點(diǎn)
    離線shenbin
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2010-05-13
    MGF2的速率一只很穩(wěn)定的嗎你們公司？計(jì)算機(jī)上的速率曲線是一條很直的線嗎？ ~Y43`@3H:  
    我們公司的好象那條曲線不是很直啊