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    [求助]為何磁控濺鍍機(jī)的磁鐵都放在靶材的下面？ [復(fù)制鏈接]

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    離線d9272816
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-06-05
    1.為何磁控濺鍍機(jī)的磁鐵都放在靶材的下面 4"(<X  
    2.可能跟第一個(gè)問(wèn)題有關(guān)，為何靶材都是圓形的
     
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    離線liwenjuan
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2008-06-11
    放在下邊可以很方便安裝呀，并且磁場(chǎng)也很有效利用。 (H ->IV  
    感覺(jué)大型濺射設(shè)備都是矩形的，呵呵
    離線chongqigeg
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-06-20
    靶材有矩形的阿
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2016-09-25
    平面靶 圓柱靶 qI~xlW