因應(yīng)今日全球制造市場的競爭，需要借助于更高準(zhǔn)確度及更好品質(zhì)的機(jī)床，因此只是校驗(yàn)及補(bǔ)償三項(xiàng)位移誤差（節(jié)距誤差）是不足夠的，如果能測得空間定位準(zhǔn)確度，則所有三項(xiàng)位移誤差、六項(xiàng)直線度誤差及三項(xiàng)垂直度誤差能被測量及補(bǔ)償。 Iq;a!Lya-  
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    近年來，光動公司已經(jīng)發(fā)展出針對包含三項(xiàng)位移誤差、六項(xiàng)直線度誤差及三項(xiàng)垂直度誤差空間誤差的激光向量測量技術(shù)，整個測量僅需幾小時，取代了傳統(tǒng)測量需耗費(fèi)幾天的時間。使用激光向量測量技術(shù)，已經(jīng)于亞崴配載Fanuc 18M控制器型號為FV-1000的立式加工中心上測得其空間定位誤差。在沒有任何補(bǔ)償條件下，空間誤差為110mm，在節(jié)距誤差補(bǔ)償條件下，空間誤差為95mm，而在空間補(bǔ)償條件下，空間誤差則為12.5mm，整個改善了900%，關(guān)于此項(xiàng)技術(shù)的操作原理、硬件架構(gòu)、資料采集與處理及一些測試結(jié)果將在本篇文章中做討論。 r-BqIoVT  
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    一、簡介 U,/9fzgd  
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    CNC機(jī)床可由包含直線位移誤差、直線度誤差、角度誤差及彈性誤差的空間定位準(zhǔn)確度來測得CNC機(jī)床的性能或準(zhǔn)確度。然而這些誤差的測量相當(dāng)復(fù)雜且耗時，針對這些原因，一些國際標(biāo)準(zhǔn)如ISO 230-6及ASME B5.54[1]建議以體對角線位移測量來作空間性能的快速檢驗(yàn)，這是因?yàn)轶w對角線對于所有的誤差組成相當(dāng)靈敏，因此當(dāng)誤差超過規(guī)范，就沒有足夠的資料能夠來鑒別誤差源及作補(bǔ)償。 1p>&j%dk  
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    近年來，由光動公司所發(fā)展出新的激光向量技術(shù)[2,3]，可利用激光位移量尺（LDDM）針對這些包含三項(xiàng)位移誤差、六項(xiàng)直線度與三項(xiàng)垂直度誤差的空間誤差來做測量。使用這項(xiàng)激光向量測量技術(shù)，已在亞崴型號為FV-1000的立式切削中心測量得到相關(guān)數(shù)據(jù)。 K0^+2lx  
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    二、體對角線位移測量 am WIA`n=  
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    體對角線位移測量方式被建議用來作機(jī)器定位及幾何準(zhǔn)確度的快速檢驗(yàn)。簡單來說，類似于激光直線位移測量，取代了激光光束在軸向的指向，而是作體對角線方向的指向，固定反射鏡在主軸上，并沿著體對角線方向移動主軸，從零點(diǎn)位置開始，并使三軸沿著對角線方向以增量同動到新的位置，則位移誤差可被測得。沿著對角線任一位置的準(zhǔn)確度是依據(jù)三軸的定位準(zhǔn)確度來決定，這準(zhǔn)確度包含直線度誤差、角度誤差及垂直度誤差。因此體對角線位移測量是一種機(jī)器驗(yàn)證的良好方法，但并沒有足夠的信息可以來鑒別誤差源。 [aC2ktI  
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    三、向量或分段對角線測量 \4q1<j  
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    新的向量測量方法或分段對角線測量方法不同于傳統(tǒng)的方法，因?yàn)楦鬏S的是分開移動的，且定位誤差是在每次X軸、Y軸及Z軸各自移動后采集，基于這個理由，可采集到三倍多的資料，同時定位誤差因?yàn)楦鬏S各自移動，可分離出來，這些采集到的資料可當(dāng)作各軸沿著對角線位移的投影來作處理。 9T;l*  
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一般的體對角線位移測量，標(biāo)靶軌跡是直線，并且以角方鏡來作標(biāo)靶，因此只能容許較小的側(cè)向位移。向量方法，變成分別沿著X軸、Y軸及Z軸作移動，重復(fù)這些動作直到對角線的相對端點(diǎn)。 WAw} ?&k  
激光干涉儀是單光束激光，并以平面鏡當(dāng)作標(biāo)靶，注意到當(dāng)以平面鏡當(dāng)作標(biāo)靶時，當(dāng)移動平行平面鏡時，激光光束并不會被遮斷及改變與光源的距離，所以測量不會受到影響。因此可測量激光方向的移動及容許較大的標(biāo)靶側(cè)向移動。 &_6B{Q  
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    四、亞崴機(jī)器上的測量 $