物理氣相沉積技術(shù)是一種對材料表面進(jìn)行改性處理的高新技術(shù), 最初和最成功的發(fā)展是在
半導(dǎo)體工業(yè)、航天航空等特殊領(lǐng)域。在機械工業(yè)中作為一種新型的表面強化技術(shù)起始于80 年代
z %{>d#rw 初, 而且主要集中在切削工具的表面強化。以改善機械摩擦副零件性能為目的的研究近10 多年才受到廣泛重視, 是現(xiàn)在重點開發(fā)的新領(lǐng)域。物理氣相沉積技術(shù)作為高新技術(shù)在先進(jìn)制造技術(shù)
1qbd6D|t 和技術(shù)進(jìn)步中占有重要的地位, 本文對其最新發(fā)展的部分概況作一介紹。
*XS@K u 1 應(yīng)用對象不斷擴(kuò)展
_IOeO 美國Balzers Too l Coat ing 公司1994 年評估了用PVD 法制取的薄膜在2000 年前的市場發(fā)展前景[1 ] , 認(rèn)為, 1980 年P(guān)VD 鍍層95% 用于改善切削工具壽命, 在2000 年50%PVD 鍍層將用
pBiC 于提高切削工具性能, 另50% 將用于改善沖壓模、磨損零件部等的壽命。由于大量采用新技術(shù)和新工藝, 使物理氣相沉積技術(shù)近10 年在
模具和磨損零部件的應(yīng)用上邁進(jìn)了一大步, 正在改變那
W+BM|'%}| 種PVD 就是
刀具上鍍T iN 的傳統(tǒng)概念。
}M?G qA= 物理氣相沉積法用于零件防蝕抗磨損鍍層越來越多, 取得非常好的效果。德國Do rrenberg Edelstah l 公司開發(fā)了一種在壓模上使用電弧蒸發(fā)鍍沉積、具有高附著力的CrN 涂層的PVD
pez* kU+9 法[2 ] , 鍍層性能高于T iN 或T iCN 鍍層, 可用于鋁件的加工模具上。
