物理氣相沉積技術(shù)是一種對材料表面進行改性處理的高新技術(shù), 最初和最成功的發(fā)展是在
半導(dǎo)體工業(yè)、航天航空等特殊領(lǐng)域。在機械工業(yè)中作為一種新型的表面強化技術(shù)起始于80 年代
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K yS 初, 而且主要集中在切削工具的表面強化。以改善機械摩擦副零件性能為目的的研究近10 多年才受到廣泛重視, 是現(xiàn)在重點開發(fā)的新領(lǐng)域。物理氣相沉積技術(shù)作為高新技術(shù)在先進制造技術(shù)
'rDai [ 和技術(shù)進步中占有重要的地位, 本文對其最新發(fā)展的部分概況作一介紹。
<zt124y-6 1 應(yīng)用對象不斷擴展
8KHT"uc'*J 美國Balzers Too l Coat ing 公司1994 年評估了用PVD 法制取的薄膜在2000 年前的市場發(fā)展前景[1 ] , 認為, 1980 年P(guān)VD 鍍層95% 用于改善切削工具壽命, 在2000 年50%PVD 鍍層將用
<T+{)FV 于提高切削工具性能, 另50% 將用于改善沖壓模、磨損零件部等的壽命。由于大量采用新技術(shù)和新工藝, 使物理氣相沉積技術(shù)近10 年在
模具和磨損零部件的應(yīng)用上邁進了一大步, 正在改變那
']DUC u 種PVD 就是
刀具上鍍T iN 的傳統(tǒng)概念。
%2^wyVkq: 物理氣相沉積法用于零件防蝕抗磨損鍍層越來越多, 取得非常好的效果。德國Do rrenberg Edelstah l 公司開發(fā)了一種在壓模上使用電弧蒸發(fā)鍍沉積、具有高附著力的CrN 涂層的PVD
QI*< MF,1 法[2 ] , 鍍層性能高于T iN 或T iCN 鍍層, 可用于鋁件的加工模具上。
9#b/D&pX5 英國Cambridge 和Tecvac 公司完善了在加工黃銅、T i 和A l的加工模具上的CrN 沉積法[3 ] , 鍍層厚度3～ 20 Lm, 鍍層具有良好的附著性, 鍍層顯示了較好的使用效果(包括擠壓, 成型以及塑
W?X3 :1c9: 料加工模具)。M ult iA rc (U K) L td 在伯明翰Too ling ’95 展覽會上介紹了該公司一種用于提高沖模壽命的PVD 工藝, 6～ 8 Lm厚的沉積層提高沖壓4 mm 厚鋼質(zhì)變速箱殼的沖模壽命, 由沖壓
xvTz|Y 500 次增大到20 400 次, 且不需要再
拋光。
*m*sg64Zw 日本在活塞環(huán)等零件表面采用離子鍍法鍍覆具有CrN 或Cr2N 成分、附著力強的耐磨膜[4 ] , 膜層中氮濃度由基體向表面膜層表面不斷增大。鍍層在不斷變更氮分壓情況下用蒸發(fā)源鉻和
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