實(shí)驗(yàn)2  金屬薄膜之制作 %>i:C-l8  
一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?span style="display:none"> NzP71t+  
學(xué)習(xí)利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。 (A6~mi r!  
1．了解真空技術(shù)的基本知識； 0Q_*Z (  
2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； $Emu*'  
3．了解真空鍍膜的基本知識； @y`xFPB  
4．學(xué)習(xí)掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法． cAEvv[  
Im/tU6ybV  
二、實(shí)驗(yàn)原理 /+SLq`'u)  
　 　鍍膜技術(shù)有很多種，但大體上可分為利用液體及氣體成膜兩種方法，前者大多涉及化學(xué)變化，后者皆有些是利用化學(xué)作用，有些則是屬于物理作用。如圖(1)所述： ~S\L(B(  
                            圖(1) 真空鍍膜方法 =huV(THU  
本教材的重點(diǎn)在于物理氣相沈積的熱蒸發(fā)蒸鍍法及電漿濺鍍法，原理及制程將會詳述內(nèi)文。同學(xué)們?nèi)魧ζ渌�鍍膜方法有興趣請自行查閱書籍、網(wǎng)絡(luò)等數(shù)據(jù)。 +W*~=*h|  
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